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• 시모스 고급 온도계, Advanced CMOS Thermometer, ACT

  단결정 실리콘 박막에 멤스(MEMS: Micro-ElectroMechanical Systems) 기술을 적용한 적외선 영상 소자. 기존 비냉각형 적외선 영상 소자에 비해 재료·구조·제조 공정 및 구동 방식이 크게 다르다. 실리콘 온 인슐레이터(SOI)를 이용한 상보성 금속 산화물 반도체(CMOS) 공정을 거쳤으며 적외선, 가시광선 등...